Pytanie o MOM kondensatora w TSMC odlewni

N

neoflash

Guest
Począwszy od technologii 55nm, TSMC rozpoczęciu świadczenia MOM kondensatora w technologii CMOS ogólnych, takich jak 40LP. Moje pytanie jest czy TSMC do specjalnego traktowania w tym obszarze MOM, w celu poprawy szerokość metal / dokładność miejsca? WPR (które w końcu poprawić dokładność kondensator) i MOM jest po prostu zwykła czapka palec metalowe, które specjalnego wzoru układu. Zazwyczaj najlepsze rozstaw metal spowoduje palec metal-metal kondensator zmiany tak duże jak o + / - 20% lub nawet gorzej. Słyszałem od ulicy, że mama kondensator dokładność może być w granicach + / - 10%. Jestem ciekaw, czy jest to realne. Dzięki Neo
 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top