zaniepokojenie mijania metali powyżej PIP czapki.

[jediknight_redmond]

Hey guys,
byłem Eksperymentuje przechodząc na metale PIP użyciu nasadki 0.35PCSG procesu.Na mojej pierwszej próby, użyłem M1, M2 i M3 o tej samej minimalnej szerokości (0.56um).DRK błędy były obecne.I dowiedziałam się, że minimalna szerokość dla M1 i M2, że nie spowoduje błąd DRK jest 1um natomiast dla górnej metalowe M3 jest 2um.Jak to tak?M3 jest o wiele wyższa niż M1 i M2, ale dlaczego powinien on być szerszy niż w innych niższe metalu który moim zdaniem będzie miało większy skutek, ponieważ są one znacznie bliżej do drugiej poli?Proszę mnie oświecić?Jeżeli masz jakieś schematy lub przekrój, to dużo lepiej ..Thank you guys wcześniej ..

Dołącz DRK jest wynikiem mojego pierwszego procesu ...
Przepraszamy, ale musisz logowania w celu wyświetlenia tego zajęcia

 

[erikl]

Może być ten nie ma nic wspólnego z PIP pułapu, ale z metalu gęstości zasady?Jeśli jest to tylko pojedyncze układ z tych 3 linie metali, gęstość zasady muszą być spełnione, które wymagają metali szerokości> min.szerokość dla "pojedyncze" drutów.W górnej metali bardzo często jest grubszy niż niższy poziom metali,
a także jego "pojedyncze" min.szerokość powinna być większa.
Sprawdź, czy masz takie same błędy DRK bez kapelusza.Jeśli tak, sprawdź swój DRK zasad.

 

[deepak242003]

Zgadzam się z erik ....wyższe metal ma więcej wymogu minimalnej szerokości następnie niższe metalu ..... więc należy nic wspólnego z kapelusza ...jak nie ma metalami poli DRK reguła ...